電子線照射発光活性化法による極薄SOI層中軽元素不純物の評価

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Material Type: 博士論文
Title: 電子線照射発光活性化法による極薄SOI層中軽元素不純物の評価
Title Transcription: デンシセンショウシャハッコウカッセイカホウニヨルゴクウス SOIソウチュウケイゲンソフジュンブツノヒョウカ
Author/Editor: 中川聰子 [著]
Author Heading: 中川, 聰子ナカガワ, サトコ
Publication, Distribution, etc.: [中川聰子]
Publication Date: [2008]
Publication Date (W3CDTF): 2008
Extent: 1冊
Alternative Title: Evaluation of light element impurities in ultrathin SOI wafers by luminescence activation using electron irradiation
Degree grantor/type: 総合研究大学院大学
Date Granted: 平成20年3月19日
Date Granted (W3CDTF): 2008
Dissertation Number: 甲第1134号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2008-M30
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009900503
http://id.ndl.go.jp/bib/000009900503
Bibliographic Record Category (NDL): 213