博士論文

半導体パターンの高精度転写を可能にする深紫外線リソグラフィーに関する研究

博士論文を表すアイコン

半導体パターンの高精度転写を可能にする深紫外線リソグラフィーに関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2008-M480
国立国会図書館書誌ID
000009905024
資料種別
博士論文
著者
佐藤隆 [著]
出版者
[佐藤隆]
出版年
[2007]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京工業大学,博士 (工学)
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

博士論文

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
博士論文
タイトルよみ
ハンドウタイ パターン ノ コウセイド テンシャ オ カノウ ニ スル シンシガイセン リソグラフィー ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
佐藤隆 [著]
著者標目
佐藤, 隆 サトウ, タカシ
出版事項
出版年月日等
[2007]
出版年(W3CDTF)
2007
数量
1冊
授与機関名
東京工業大学