博士論文

半導体パターンの高精度転写を可能にする深紫外線リソグラフィーに関する研究

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半導体パターンの高精度転写を可能にする深紫外線リソグラフィーに関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2008-M480
Bibliographic ID of National Diet Library
000009905024
Material type
博士論文
Author
佐藤隆 [著]
Publisher
[佐藤隆]
Publication date
[2007]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
半導体パターンの高精度転写を可能にする深紫外線リソグラフィーに関する研究
Title Transcription
ハンドウタイ パターン ノ コウセイド テンシャ オ カノウ ニ スル シンシガイセン リソグラフィー ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
佐藤隆 [著]
Author Heading
佐藤, 隆 サトウ, タカシ
Publication, Distribution, etc.
[佐藤隆]
Publication Date
[2007]
Publication Date (W3CDTF)
2007
Extent
1冊
Degree grantor/type
東京工業大学