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ナノインプリント : 先端微細加工技術の最前線 (TRC R & D library)

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ナノインプリント : 先端微細加工技術の最前線

(TRC R & D library)

国立国会図書館請求記号
ND371-J55
国立国会図書館書誌ID
000009948161
資料種別
図書
著者
東レリサーチセンター
出版者
東レリサーチセンター調査研究部
出版年
2008.10
資料形態
ページ数・大きさ等
396p ; 30cm
NDC
549.8
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目次

  • 目次

  • 第1章 ナノインプリント技術開発動向/ 1

  • 1.1 ナノインプリント技術開発の流れ/ 1

  • 1.2 ナノインプリント技術の特長/ 3

  • 1.3 ナノインプリント技術の課題と研究動向/ 4

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノインプリント : センタン ビサイ カコウ ギジュツ ノ サイゼンセン
シリーズタイトル
著者標目
東レリサーチセンター トウレ リサーチ センター ( 00306703 )典拠
出版年月日等
2008.10
出版年(W3CDTF)
2008
数量
396p
大きさ
30cm