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ナノインプリント : 先端微細加工技術の最前線 (TRC R & D library)

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ナノインプリント : 先端微細加工技術の最前線

(TRC R & D library)

Call No. (NDL)
ND371-J55
Bibliographic ID of National Diet Library
000009948161
Material type
図書
Author
東レリサーチセンター
Publisher
東レリサーチセンター調査研究部
Publication date
2008.10
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
396p ; 30cm
NDC
549.8
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Table of Contents

  • 目次

  • 第1章 ナノインプリント技術開発動向/ 1

  • 1.1 ナノインプリント技術開発の流れ/ 1

  • 1.2 ナノインプリント技術の特長/ 3

  • 1.3 ナノインプリント技術の課題と研究動向/ 4

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ナノインプリント : センタン ビサイ カコウ ギジュツ ノ サイゼンセン
Series Title
Author Heading
東レリサーチセンター トウレ リサーチ センター ( 00306703 )Authorities
Publication Date
2008.10
Publication Date (W3CDTF)
2008
Extent
396p
Size
30cm