電気学会研究会資料 : センサ・マイクロマシン部門総合研究会

• 資料種別: 図書
• タイトル: 電気学会研究会資料 : センサ・マイクロマシン部門総合研究会
• タイトルよみ: デンキ ガッカイ ケンキュウカイ シリョウ : センサ マイクロ マシン ブモン ソウゴウ ケンキュウカイ
• 著者標目: 電気学会 デンキ ガッカイ ( 00259505 )典拠
• 出版事項: 東京 : 電気学会
• 出版年月日等: 2008.6
• 出版年（W3CDTF）: 2008
• 数量: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: センサー センサー ( 01084279 )典拠
• NDC9版: 501.22 : 工業基礎学
• NDLC: M191
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 会期: 2008年6月12日-13日
• 書誌注記: 文献あり
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M191-J31
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009976108; http://id.ndl.go.jp/bib/000009976108
• 全国書誌番号: 21521560
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 内容細目: フィジカルセンサとそのプロセス技術及び一般薄膜ピラニ真空センサの温度差検出による改良 / 高嶋徳明, 木村光照 著エピタキシャルPZT薄膜を用いた圧電型超音波トランスデューサアレイの製作 / 神社生朗 ほか著...