電気学会研究会資料 : センサ・マイクロマシン部門総合研究会

• Material Type: 図書
• Title: 電気学会研究会資料 : センサ・マイクロマシン部門総合研究会
• Title Transcription: デンキ ガッカイ ケンキュウカイ シリョウ : センサ マイクロ マシン ブモン ソウゴウ ケンキュウカイ
• Author Heading: 電気学会 デンキ ガッカイ ( 00259505 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 電気学会
• Publication Date: 2008.6
• Publication Date (W3CDTF): 2008
• Extent: 1冊
• Size: 30cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: センサー センサー ( 01084279 )Authorities
• NDC 9th ed.: 501.22 : Basic engineering
• NDLC: M191
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期: 2008年6月12日-13日
• Note (Bibliography): 文献あり
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: M191-J31
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009976108; http://id.ndl.go.jp/bib/000009976108
• National Bibliography No. (JPNO): 21521560
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Contents: フィジカルセンサとそのプロセス技術及び一般薄膜ピラニ真空センサの温度差検出による改良 / 高嶋徳明, 木村光照 著エピタキシャルPZT薄膜を用いた圧電型超音波トランスデューサアレイの製作 / 神社生朗 ほか著...