Semiconductor machining at the micro-nano scale, 2007 / editors, Jiwang Yan, John Patten.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9788178953014
• タイトル: Semiconductor machining at the micro-nano scale, 2007 / editors, Jiwang Yan, John Patten.
• 著者標目: Yan, Jiwang.; Patten, John.
• 出版事項: Trivandrum, Kerala : Transworld Research Network
• 出版年月日等: 2007.
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 360 p. : ill. (some color) , charts ; 22 cm.
• 出版地（国名コード）: IN
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Semiconductors -- Design and construction.; Semicondutores.
• NDLC: ND371
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-B38
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010046672; http://id.ndl.go.jp/bib/000010046672
• OCLC番号: 297520606; https://www.worldcat.org/oclc/297520606
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 211

• 内容細目: Part 1/ SINGLE- POINT MACHINING PROCESSES: Surface and subsurface integrity in ductile machining of semiconductor materials/ Jiwang YanNumerical simul...