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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウデンアツ CMOS クドウ カイロ ト SOI-MEMS アクチュエータ ノ モノリシック シュウセキカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 高橋一浩 [著]
- 著者標目
- 高橋, 一浩 タカハシ, カズヒロ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2008]
- 出版年（W3CDTF）
- 2008
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- A study on monolithic integration of high voltage CMOS driver circuits and SOI-MEMS actuators