博士論文

微量SiO2添加によるHfO2の結晶構造変化と高誘電率化に関する研究

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微量SiO2添加によるHfO2の結晶構造変化と高誘電率化に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2008-S119
国立国会図書館書誌ID
000010057732
資料種別
博士論文
著者
富田一行 [著]
出版者
[富田一行]
出版年
[2008]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ビリョウ SiO2 テンカ ニ ヨル HfO2 ノ ケッショウ コウゾウ ヘンカ ト コウユウデンリツカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
富田一行 [著]
著者標目
富田, 一行 トミダ, カズユキ
出版事項
出版年月日等
[2008]
出版年(W3CDTF)
2008
数量
1冊
授与機関名
東京大学