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MEMSデバイス総論

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MEMSデバイス総論

国立国会図書館請求記号
NB21-J26
国立国会図書館書誌ID
000010111725
資料種別
図書
著者
植田敏嗣 監修
出版者
サイエンス&テクノロジー
出版年
2009.4
資料形態
ページ数・大きさ等
301p ; 27cm
NDC
530
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資料詳細

内容細目:

MEMSデザインMEMSシミュレーションの現状 / 浅海和雄, 岩崎拓也 著MEMS用設計・解析支援システムの構成と応用 / 浅海和雄, 岩崎拓也 著...

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目次

  • 目次

  • 第1章 概要

    植田敏嗣

  • 概要/ 3

  • 第2章 MEMSデザイン

  • 第1節 MEMSシミュレーションの現状

    浅海和雄||岩崎拓也

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
978-4-903413-65-5
タイトルよみ
MEMS デバイス ソウロン
著者・編者
植田敏嗣 監修
著者標目
植田, 敏嗣 ウエダ, トシツグ ( 01161073 )典拠
出版年月日等
2009.4
出版年(W3CDTF)
2009
数量
301p