MEMSデバイス総論

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-903413-65-5
• タイトル: MEMSデバイス総論
• タイトルよみ: MEMS デバイス ソウロン
• 著者・編者: 植田敏嗣 監修
• 著者標目: 植田, 敏嗣 ウエダ, トシツグ ( 01161073 )典拠
• 出版事項: 東京 : サイエンス&テクノロジー
• 出版年月日等: 2009.4
• 出版年（W3CDTF）: 2009
• 数量: 301p
• 大きさ: 27cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: マイクロマシン マイクロマシン ( 00577044 )典拠
• NDC9版: 530 : 機械工学
• NDLC: NB21
• NDC（参考図書紹介）: 530
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり
• 入手条件・定価: 60000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: NB21-J26
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010111725; http://id.ndl.go.jp/bib/000010111725
• 全国書誌番号: 21587898
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 内容細目: MEMSデザインMEMSシミュレーションの現状 / 浅海和雄, 岩崎拓也 著MEMS用設計・解析支援システムの構成と応用 / 浅海和雄, 岩崎拓也 著...

目次

目次

第1章 概要

概要/ 3

第2章 MEMSデザイン

第1節 MEMSシミュレーションの現状