Nano-scale fabrication and modification of mechanical properties of single crystal Si by use of highly charged ion beam

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Nano-scale fabrication and modification of mechanical properties of single crystal Si by use of highly charged ion beam
• 著者・編者: Shahjada Ahmed Pahlovy [著]
• 著者標目: S.A.Pahlovy シャジェダ アハメド パロガィー
• 出版事項: [Shahjada Ahmed Pahlovy]
• 出版年月日等: [2008]
• 出版年（W3CDTF）: 2008
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 多価イオンビームを用いた単結晶シリコンのナノスケール加工と機械的特性の改質 タカ イオン ビーム オ モチイタ タンケッショウ シリコン ノ ナノスケール カコウ ト キカイテキ トクセイ ノ カイシツ
• 授与機関名: 高知工科大学
• 授与年月日: 平成20年3月21日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2008
• 報告番号: 甲第132号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2009-B422
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010203542; http://id.ndl.go.jp/bib/000010203542
• 整理区分コード: 213