Nano-scale fabrication and modification of mechanical properties of single crystal Si by use of highly charged ion beam

• Material Type: 博士論文
• Title: Nano-scale fabrication and modification of mechanical properties of single crystal Si by use of highly charged ion beam
• Author/Editor: Shahjada Ahmed Pahlovy [著]
• Author Heading: S.A.Pahlovy シャジェダ アハメド パロガィー
• Publication, Distribution, etc.: [Shahjada Ahmed Pahlovy]
• Publication Date: [2008]
• Publication Date (W3CDTF): 2008
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 多価イオンビームを用いた単結晶シリコンのナノスケール加工と機械的特性の改質 タカ イオン ビーム オ モチイタ タンケッショウ シリコン ノ ナノスケール カコウ ト キカイテキ トクセイ ノ カイシツ
• Degree grantor/type: 高知工科大学
• Date Granted: 平成20年3月21日
• Date Granted (W3CDTF): 2008
• Dissertation Number: 甲第132号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2009-B422
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010203542; http://id.ndl.go.jp/bib/000010203542
• Bibliographic Record Category (NDL): 213