書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトル
- 著者・編者
- Satoshi Takei [著]
- 著者標目
- 竹井, 敏 タケイ, サトシ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2009]
- 出版年(W3CDTF)
- 2009
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- ArFリソグラフィー用フォトレジスト下層反射防止膜とギャプフィル材の研究 ArF リソグラフィーヨウ フォトレジスト カソウ ハンシャ ボウシマク ト ギャプ フィルザイ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 大阪大学