25th European mask and lithography conference : 12-15 January 2009 : Dresden, Germany. : EMLC 2009 : EMLC2009 : Jan 2009, Dresden, Germany.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780819477705
• ISSN（シリーズ）: 0277-786X
• タイトル: 25th European mask and lithography conference : 12-15 January 2009 : Dresden, Germany. : EMLC 2009 : EMLC2009 : Jan 2009, Dresden, Germany.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 7470
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 7470.
• 著者標目: VDE/VDI. Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM); Behringer, Uwe F. W.; European Mask and Lithography Conference (25th : 2009 : Dresden, Germany)
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2009.
• 出版年（W3CDTF）: 2009
• 数量: 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Integrated circuits -- Masks -- Congresses.; Microlithography -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.; "In 1983, the VDI/VDE society decided to organize an annual conference (...) In 2005 the conference name was changed to 'European Mask and Lithography Conference, EMLC, ' (...) " -- foreword.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-10-505
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010437996; http://id.ndl.go.jp/bib/000010437996
• OCLC番号: 424523420; https://www.worldcat.org/oclc/424523420
• 整理区分コード: 215