半導体製造工程における統計的工程管理の応用研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 半導体製造工程における統計的工程管理の応用研究
• タイトルよみ: ハンドウタイ セイゾウ コウテイ ニ オケル トウケイテキ コウテイ カンリ ノ オウヨウ ケンキュウ
• 著者・編者: 川村大伸 [著]
• 著者標目: 川村, 大伸 カワムラ, ヒロノブ
• 出版事項: [川村大伸]
• 出版年月日等: [2009]
• 出版年（W3CDTF）: 2009
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 名古屋工業大学
• 授与年月日: 平成21年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2009
• 報告番号: 甲第692号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2009-G735
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010494975; http://id.ndl.go.jp/bib/000010494975
• 整理区分コード: 213