半導体製造工程における統計的工程管理の応用研究

半導体製造工程における統計的工程管理の応用研究

Call No. (NDL): UT51-2009-G735
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010494975

Material type: 博士論文

Author: 川村大伸 [著]

Publisher: [川村大伸]

Publication date: [2009]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 名古屋工業大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 半導体製造工程における統計的工程管理の応用研究
Title Transcription: ハンドウタイセイゾウコウテイニオケルトウケイテキコウテイカンリノオウヨウケンキュウ
Author/Editor: 川村大伸 [著]
Author Heading: 川村, 大伸カワムラ, ヒロノブ
Publication, Distribution, etc.: [川村大伸]
Publication Date: [2009]
Publication Date (W3CDTF): 2009
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 名古屋工業大学
Date Granted: 平成21年3月23日
Date Granted (W3CDTF): 2009
Dissertation Number: 甲第692号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2009-G735
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010494975
http://id.ndl.go.jp/bib/000010494975
Bibliographic Record Category (NDL): 213