Preparation of functional thin films on various substrates and microfabrication on glass surfaces by wet process based on the liquid phase deposition and HF acid etching

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Preparation of functional thin films on various substrates and microfabrication on glass surfaces by wet process based on the liquid phase deposition and HF acid etching
• 著者・編者: Yasuhiro Saito [著]
• 著者標目: 齊藤, 靖弘 サイトウ, ヤスヒロ
• 出版事項: [Yasuhiro Saito]
• 出版年月日等: [2009]
• 出版年（W3CDTF）: 2009
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 液相析出法を基盤とする湿式プロセスを用いた種々の基板上への機能性薄膜の形式とガラス表面微細加工 エキソウ セキシュツホウ オ キバン ト スル シッシキ プロセス オ モチイタ シュジュ ノ キバンジョウ エ ノ キノウセイ ハクマク ノ ケイシキ ト ガラス ヒョウメン ビサイ カコウ
• 授与機関名: 神戸大学
• 授与年月日: 平成21年3月6日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2009
• 報告番号: 乙第3052号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2009-L722
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010617900; http://id.ndl.go.jp/bib/000010617900
• 整理区分コード: 213