Preparation of functional thin films on various substrates and microfabrication on glass surfaces by wet process based on the liquid phase deposition and HF acid etching

• Material Type: 博士論文
• Title: Preparation of functional thin films on various substrates and microfabrication on glass surfaces by wet process based on the liquid phase deposition and HF acid etching
• Author/Editor: Yasuhiro Saito [著]
• Author Heading: 齊藤, 靖弘 サイトウ, ヤスヒロ
• Publication, Distribution, etc.: [Yasuhiro Saito]
• Publication Date: [2009]
• Publication Date (W3CDTF): 2009
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 液相析出法を基盤とする湿式プロセスを用いた種々の基板上への機能性薄膜の形式とガラス表面微細加工 エキソウ セキシュツホウ オ キバン ト スル シッシキ プロセス オ モチイタ シュジュ ノ キバンジョウ エ ノ キノウセイ ハクマク ノ ケイシキ ト ガラス ヒョウメン ビサイ カコウ
• Degree grantor/type: 神戸大学
• Date Granted: 平成21年3月6日
• Date Granted (W3CDTF): 2009
• Dissertation Number: 乙第3052号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2009-L722
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010617900; http://id.ndl.go.jp/bib/000010617900
• Bibliographic Record Category (NDL): 213