A study on development of softlithographic technology for micro patterning on non-planar surfaces

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: A study on development of softlithographic technology for micro patterning on non-planar surfaces
• 著者・編者: Janggil Kim [著]
• 著者標目: 金, 長吉 キム, ジャンギル
• 出版事項: [Janggil Kim]
• 出版年月日等: [2008]
• 出版年（W3CDTF）: 2008
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 非平面上のマイクロパターン製作のためのソフトリソグラフィ技術に関する研究 ヒヘイメンジョウ ノ マイクロパターン セイサク ノ タメ ノ ソフトリソグラフィ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成20年9月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2008
• 報告番号: 甲第24128号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 著者別名: Kim, Jang-Gil
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2009-Q169
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010715361; http://id.ndl.go.jp/bib/000010715361
• 整理区分コード: 213