博士論文

A study on development of softlithographic technology for micro patterning on non-planar surfaces

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A study on development of softlithographic technology for micro patterning on non-planar surfaces

Call No. (NDL)
UT51-2009-Q169
Bibliographic ID of National Diet Library
000010715361
Material type
博士論文
Author
Janggil Kim [著]
Publisher
[Janggil Kim]
Publication date
[2008]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Author/Editor
Janggil Kim [著]
Author Heading
金, 長吉 キム, ジャンギル
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2008]
Publication Date (W3CDTF)
2008
Extent
1冊
Alternative Title
非平面上のマイクロパターン製作のためのソフトリソグラフィ技術に関する研究 ヒヘイメンジョウ ノ マイクロパターン セイサク ノ タメ ノ ソフトリソグラフィ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Degree grantor/type
東京大学