Lithography Asia 2009 : 18-19 November 2009 : Taipei, Taiwan. : 2009 lithography Asia conference : Nov 2009, Taipei, Taiwan. (SPIE Proceedings ; 7520)

Lithography Asia 2009 : 18-19 November 2009 : Taipei, Taiwan. : 2009 lithography Asia conference : Nov 2009, Taipei, Taiwan.

(SPIE Proceedings ; 7520)

国立国会図書館請求記号: M17-10-2510
国立国会図書館書誌ID: 000010874361

資料種別: 図書

著者: Taiwan Semiconductor Industry Association.ほか

出版者: SPIE

出版年: c2009.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Papers."Welcome to the 2009 Lithography Asia conference held in Taipei, Taiwan. This is the second year in a row that (...) " -- introd.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 9780819479099
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: Lithography Asia 2009 : 18-19 November 2009 : Taipei, Taiwan. : 2009 lithography Asia conference : Nov 2009, Taipei, Taiwan.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 7520
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering, 0277-786X ; v. 7520.
著者標目: Taiwan Semiconductor Industry Association.
Chen, Alek C.
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2009.
出版年（W3CDTF）: 2009
数量: 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Lithography, Electron beam -- Congresses.
Microlithography -- Industrial applications -- Congresses.
X-ray lithography -- Congresses.
X-rays -- Industrial applications -- Congresses.
Masks (Electronics) -- Congresses.
Electronic books.
LCC: TK7874
NDLC: M17
一般注記: Papers.
"Welcome to the 2009 Lithography Asia conference held in Taipei, Taiwan. This is the second year in a row that (...) " -- introd.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-10-2510
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000010874361
http://id.ndl.go.jp/bib/000010874361
OCLC番号: 518211612
https://www.worldcat.org/oclc/518211612
整理区分コード: 215