Nano-scale characterization for interconnect integration of ULSI devices

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Nano-scale characterization for interconnect integration of ULSI devices
• 著者・編者: Yuji Otsuka [著]
• 著者標目: 大塚, 祐二 オオツカ, ユウジ
• 出版事項: [Yuji Otsuka]
• 出版年月日等: [2010]
• 出版年（W3CDTF）: 2010
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 超高集積デバイスにおける配線積層部の局所構造解析に関する研究 チョウコウシュウセキ デバイス ニ オケル ハイセン セキソウブ ノ キョクショ コウゾウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 平成22年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2010
• 報告番号: 甲第15378号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2010-B338
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010894717; http://id.ndl.go.jp/bib/000010894717
• 整理区分コード: 213