Nano-scale characterization for interconnect integration of ULSI devices

• Material Type: 博士論文
• Title: Nano-scale characterization for interconnect integration of ULSI devices
• Author/Editor: Yuji Otsuka [著]
• Author Heading: 大塚, 祐二 オオツカ, ユウジ
• Publication, Distribution, etc.: [Yuji Otsuka]
• Publication Date: [2010]
• Publication Date (W3CDTF): 2010
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 超高集積デバイスにおける配線積層部の局所構造解析に関する研究 チョウコウシュウセキ デバイス ニ オケル ハイセン セキソウブ ノ キョクショ コウゾウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成22年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2010
• Dissertation Number: 甲第15378号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2010-B338
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010894717; http://id.ndl.go.jp/bib/000010894717
• Bibliographic Record Category (NDL): 213