次世代半導体デバイス製造における平坦化CMPとそのシミュレーションに関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 次世代半導体デバイス製造における平坦化CMPとそのシミュレーションに関する研究
• タイトルよみ: ジセダイ ハンドウタイ デバイス セイゾウ ニ オケル ヘイタンカ CMP ト ソノ シミュレーション ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 福田明 [著]
• 著者標目: 福田, 明 フクダ, アキラ
• 出版事項: [福田明]
• 出版年月日等: [2010]
• 出版年（W3CDTF）: 2010
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 九州大学
• 授与年月日: 平成22年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2010
• 報告番号: 甲第9746号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2010-B788
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010898703; http://id.ndl.go.jp/bib/000010898703
• 整理区分コード: 213