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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ジセダイ ハンドウタイ デバイス セイゾウ ニ オケル ヘイタンカ CMP ト ソノ シミュレーション ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 福田明 [著]
- 著者標目
- 福田, 明 フクダ, アキラ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2010]
- 出版年（W3CDTF）
- 2010
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 九州大学
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