次世代半導体デバイス製造における平坦化CMPとそのシミュレーションに関する研究

次世代半導体デバイス製造における平坦化CMPとそのシミュレーションに関する研究

Call No. (NDL): UT51-2010-B788
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010898703

Material type: 博士論文

Author: 福田明 [著]

Publisher: [福田明]

Publication date: [2010]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 九州大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 次世代半導体デバイス製造における平坦化CMPとそのシミュレーションに関する研究
Title Transcription: ジセダイハンドウタイデバイスセイゾウニオケルヘイタンカ CMP トソノシミュレーションニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 福田明 [著]
Author Heading: 福田, 明フクダ, アキラ
Publication, Distribution, etc.: [福田明]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 平成22年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第9746号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2010-B788
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010898703
http://id.ndl.go.jp/bib/000010898703
Bibliographic Record Category (NDL): 213