固体フッ素化剤-シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の形状創成加工の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 固体フッ素化剤-シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の形状創成加工の研究
• タイトルよみ: コタイ フッソカザイ - シリコン カイメン コソウ ハンノウ オ モチイタ シリコン ヒョウメン ノ ケイジョウ ソウセイ カコウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 打越純一, 大阪大学 [著]
• 著者標目: 打越, 純一 ウチコシ, ジュンイチ; 大阪大学 オオサカ ダイガク
• 出版事項: [打越純一]
• 出版年月日等: 2006-2007; 2010.2
• 出版年（W3CDTF）: 2006; 2007
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: フッ素化剤 / シリコン / エッチング / 固相反応 / 界面 / 形状創成 / 近赤外光 / 干渉計 フッソカザイ / シリコン / エッチング / コソウ ハンノウ / カイメン / ケイジョウ ソウセイ / キン セキガイコウ / カンショウケイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 18560104
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H18560104
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010936826; http://id.ndl.go.jp/bib/000010936826
• 整理区分コード: 214