固体フッ素化剤-シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の形状創成加工の研究

Call No. (NDL): Y151-H18560104
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010936826

Material type: 図書

Author: 打越純一, 大阪大学 [著]

Publisher: [打越純一]

Publication date: 2006-2007

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 固体フッ素化剤-シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の形状創成加工の研究
Title Transcription: コタイフッソカザイ - シリコンカイメンコソウハンノウオモチイタシリコンヒョウメンノケイジョウソウセイカコウノケンキュウ
Author/Editor: 打越純一, 大阪大学 [著]
Author Heading: 打越, 純一ウチコシ, ジュンイチ
大阪大学オオサカダイガク
Publication, Distribution, etc.: [打越純一]
Publication Date: 2006-2007
2010.2
Publication Date (W3CDTF): 2006
2007
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: フッ素化剤 / シリコン / エッチング / 固相反応 / 界面 / 形状創成 / 近赤外光 / 干渉計フッソカザイ / シリコン / エッチング / コソウハンノウ / カイメン / ケイジョウソウセイ / キンセキガイコウ / カンショウケイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 18560104
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H18560104
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010936826
http://id.ndl.go.jp/bib/000010936826
Bibliographic Record Category (NDL): 214