博士論文

集束イオンビーム装置の開発と微細加工技術に関する研究

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集束イオンビーム装置の開発と微細加工技術に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2010-D22
国立国会図書館書誌ID
000010945437
資料種別
博士論文
著者
足立達哉 [著]
出版者
[足立達哉]
出版年
[2009]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
日本大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
シュウソク イオン ビーム ソウチ ノ カイハツ ト ビサイ カコウ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
足立達哉 [著]
著者標目
足立, 達哉 アダチ, タツヤ
出版事項
出版年月日等
[2009]
出版年(W3CDTF)
2009
数量
1冊
授与機関名
日本大学