集束イオンビーム装置の開発と微細加工技術に関する研究

集束イオンビーム装置の開発と微細加工技術に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2010-D22
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010945437

Material type: 博士論文

Author: 足立達哉 [著]

Publisher: [足立達哉]

Publication date: [2009]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 日本大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 集束イオンビーム装置の開発と微細加工技術に関する研究
Title Transcription: シュウソクイオンビームソウチノカイハツトビサイカコウギジュツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 足立達哉 [著]
Author Heading: 足立, 達哉アダチ, タツヤ
Publication, Distribution, etc.: [足立達哉]
Publication Date: [2009]
Publication Date (W3CDTF): 2009
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 日本大学
Date Granted: 平成21年12月7日
Date Granted (W3CDTF): 2009
Dissertation Number: 乙第6729号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2010-D22
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010945437
http://id.ndl.go.jp/bib/000010945437
Bibliographic Record Category (NDL): 213