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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- サンフッカ エンソ ガス オ モチイタ ヒョウメン エッチングホウ ニ オケル イドウ ゲンショウ ト ハンノウ ソクド ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 三浦豊 [著]
- 著者標目
- 三浦, 豊 ミウラ, ユタカ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2010]
- 出版年（W3CDTF）
- 2010
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- A study of transport phenomena and surface chemical reactions for etching processes using chlorinetrifluoride gas