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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- サンフッカ エンソ ガス オ モチイタ ヒョウメン エッチングホウ ニ オケル イドウ ゲンショウ ト ハンノウ ソクド ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 三浦豊 [著]
- Author Heading
- 三浦, 豊 ミウラ, ユタカ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2010]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2010
- Extent
- 1冊
- Alternative Title
- A study of transport phenomena and surface chemical reactions for etching processes using chlorinetrifluoride gas