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生産現場・開発現場において役立つ薄膜作製技術

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生産現場・開発現場において役立つ薄膜作製技術

国立国会図書館請求記号
ND371-J152
国立国会図書館書誌ID
000011047894
資料種別
図書
著者
日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会 編
出版者
リアライズ理工センター
出版年
2006.11
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
323, 9p ; 30cm
NDC
549.8
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目次

  • 生産現場・開発現場において役立つ 薄膜作製技術 目次

  • 第1章 基礎技術

  • 第1節 真空と圧力

    【草野英二】

  • 1. 真空とは/ 3

  • 2. 圧力とは/ 4

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紙

資料種別
図書
ISBN
4-89808-078-2
タイトル
生産現場・開発現場において役立つ薄膜作製技術
タイトルよみ
セイサン ゲンバ カイハツ ゲンバ ニ オイテ ヤクダツ ハクマク サクセイ ギジュツ
著者・編者
日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会 編
著者標目
日本真空協会 ニホン シンクウ キョウカイ ( 00294657 )典拠
出版事項
東京 : リアライズ理工センター
出版年月日等
2006.11
出版年（W3CDTF）
2006
数量
323, 9p