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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-89808-069-3
- タイトルよみ
- ハンドウタイ エキショウ ディスプレイ フォトリソグラフィ ギジュツ ハンドブック
- 著者・編者
- 石橋健夫, 上野巧, 鵜飼育弘, 嘉代雄, 田中初幸 編
- 著者標目
- 石橋, 健夫, pub.2006 イシバシ, タケオ, pub.2006 ( 01214998 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2006.1
- 出版年（W3CDTF）
- 2006
- 数量
- 587, 11p