Studies on the fabrication of vertical integrated MEMS devices

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on the fabrication of vertical integrated MEMS devices
• 著者・編者: Masatoshi Oba [著]
• 著者標目: 大場, 正利 オオバ, マサトシ
• 出版事項: [Masatoshi Oba]
• 出版年月日等: [2010]
• 出版年（W3CDTF）: 2010
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 縦方向に集積化されたMEMSデバイス作製の研究 タテホウコウ ニ シュウセキカサレタ MEMS デバイス サクセイ ノ ケンキュウ
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 平成22年9月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2010
• 報告番号: 乙第12493号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2010-M467
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000011081214; http://id.ndl.go.jp/bib/000011081214
• 整理区分コード: 213