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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Chenxi Wang [著]
- 著者標目
- 王, 晨曦 オウ, シンギ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2009]
- 出版年(W3CDTF)
- 2009
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- モアレ縞による位置決め法とフッ素添加プラズマ活性化を用いた高精度ウェハ接合 モアレジマ ニ ヨル イチギメホウ ト フッソ テンカ プラズマ カッセイカ オ モチイタ コウセイド ウェハ セツゴウ
- 授与機関名
- 東京大学