フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術
フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術
- 国立国会図書館請求記号
- ND386-J131
- 国立国会図書館書誌ID
- 000011203562
資料に関する注記
一般注記：
- 『入門フォトマスク技術』 (工業調査会2006年刊) の改題
資料詳細
要約等：
- 本書は次世代技術を支えるフォトマスク技術について，開発に携わる著者がわかりやすく，体系的にまとめたものである。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
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目次
第1章 フォトマスク技術の基本
1.1 フォトマスクとは
1.2 リソグラフィ技術とフォトマスク
1.3 フォトマスクの基本
1.4 データ準備
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関東
埼玉県立久喜図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-ﾌｵ
- 図書登録番号：
- 102410032
さいたま市立中央図書館
紙- 請求記号：
- 549.7 ﾌｵ
- 図書登録番号：
- 01101237624
千葉県立西部図書館
紙- 請求記号：
- 5497/ 127/
- 図書登録番号：
- 1102260030
相模原市立図書館
紙- 図書登録番号：
- 29882933
東海・北陸
名古屋市図書館
紙- 請求記号：
- 5497//
- 図書登録番号：
- 0235784691
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-501-32820-7
- タイトルよみ
- フォトマスク : デンシ ブヒン セイゾウ ノ キカン ギジュツ
- 著者・編者
- 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久 共著
- 著者標目
- 田辺, 功, 1937- タナベ, イサオ, 1937- ( 00534033 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2011.4
- 出版年（W3CDTF）
- 2011
- 数量
- 323p