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目次
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第1章 フォトマスク技術の基本
1.1 フォトマスクとは
1.2 リソグラフィ技術とフォトマスク
1.3 フォトマスクの基本
1.4 データ準備
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関東
埼玉県立久喜図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-ﾌｵ
- 図書登録番号：
- 102410032
さいたま市立中央図書館
紙- 請求記号：
- 549.7 ﾌｵ
- 図書登録番号：
- 01101237624
千葉県立西部図書館
紙- 請求記号：
- 5497/ 127/
- 図書登録番号：
- 1102260030
相模原市立図書館
紙- 図書登録番号：
- 29882933
東海・北陸
名古屋市図書館
紙- 請求記号：
- 5497//
- 図書登録番号：
- 0235784691
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-501-32820-7
- タイトルよみ
- フォトマスク : デンシ ブヒン セイゾウ ノ キカン ギジュツ
- 著者・編者
- 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久 共著
- 著者標目
- 田辺, 功, 1937- タナベ, イサオ, 1937- ( 00534033 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2011.4
- 出版年（W3CDTF）
- 2011
- 数量
- 323p