フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術
フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術
- Call No. (NDL)
- ND386-J131
- Bibliographic ID of National Diet Library
- 000011203562
Notes on use
Note (General)：
- 『入門フォトマスク技術』 (工業調査会2006年刊) の改題
Detailed bibliographic record
Summary, etc.：
- 本書は次世代技術を支えるフォトマスク技術について，開発に携わる著者がわかりやすく，体系的にまとめたものである。(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
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Table of Contents
第1章 フォトマスク技術の基本
1.1 フォトマスクとは
1.2 リソグラフィ技術とフォトマスク
1.3 フォトマスクの基本
1.4 データ準備
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- 549.8-ﾌｵ
- Book Registration Number：
- 102410032
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Paper- Call No.：
- 5497//
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 978-4-501-32820-7
- Title
- Title Transcription
- フォトマスク : デンシ ブヒン セイゾウ ノ キカン ギジュツ
- Author/Editor
- 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久 共著
- Author Heading
- 田辺, 功, 1937- タナベ, イサオ, 1937- ( 00534033 )Authorities竹花, 洋一 タケハナ, ヨウイチ ( 01092236 )Authorities法元, 盛久 ホウガ, モリヒサ ( 01092237 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2011.4
- Publication Date (W3CDTF)
- 2011
- Extent
- 323p