資料に関する注記
一般注記：
- 『半導体のための真空技術入門』 (工業調査会2007年刊) の改題
資料詳細
要約等：
- 半導体産業に焦点をあて、そこにおける真空技術についてまとめた。理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
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目次
Ⅰ 基礎編
第1章 半導体製造装置と真空
1 装置システム構成
2 なぜ真空が使われるのか
3 半導体での真空応用例
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関東
埼玉県立久喜図書館
紙- 請求記号：
- 534.93-ﾊﾝ
- 図書登録番号：
- 102414893
千葉県立西部図書館
紙- 請求記号：
- 5498/ 161/
- 図書登録番号：
- 1102264782
山梨県立図書館
紙- 請求記号：
- ５４９．８／ウツ／
- 図書登録番号：
- 0105654776
東海・北陸
福井県立図書館
紙- 請求記号：
- 534.9/ｳﾂｷ
- 図書登録番号：
- 1015760059
近畿
大阪市立図書館
紙- 図書登録番号：
- 0012300132
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-501-41890-8
- タイトル
- タイトルよみ
- ハンドウタイ シンクウ ギジュツ : ポイント カイセツ
- 著者・編者
- 宇津木勝 著
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2011.5
- 出版年（W3CDTF）
- 2011
- 数量
- 219p