半導体真空技術 : ポイント解説

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-501-41890-8
• タイトル: 半導体真空技術 : ポイント解説
• タイトルよみ: ハンドウタイ シンクウ ギジュツ : ポイント カイセツ
• 著者・編者: 宇津木勝 著
• 著者標目: 宇津木, 勝 ウツギ, マサル ( 01097559 )典拠
• 出版事項: 東京 : 東京電機大学出版局
• 出版年月日等: 2011.5
• 出版年（W3CDTF）: 2011
• 数量: 219p
• 大きさ: 21cm
• その他のタイトル: 半導体のための真空技術入門 ハンドウタイ ノ タメノ シンクウ ギジュツ ニュウモン
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )典拠; 真空工学 シンクウコウガク ( 00571070 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 『半導体のための真空技術入門』 (工業調査会2007年刊) の改題
• 書誌注記: 文献あり 索引あり
• 入手条件・定価: 2500円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-J180
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000011206886; http://id.ndl.go.jp/bib/000011206886
• 全国書誌番号: 21948057
• NS-MARC番号: 122627000
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 112

• 要約等: 半導体産業に焦点をあて、そこにおける真空技術についてまとめた。理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））

目次

Ⅰ　基礎編

第1章　半導体製造装置と真空

1　装置システム構成

2　なぜ真空が使われるのか

3　半導体での真空応用例