半導体真空技術 : ポイント解説
半導体真空技術 : ポイント解説
- Call No. (NDL)
- ND371-J180
- Bibliographic ID of National Diet Library
- 000011206886
Notes on use
Note (General)：
- 『半導体のための真空技術入門』 (工業調査会2007年刊) の改題
Detailed bibliographic record
Summary, etc.：
- 半導体産業に焦点をあて、そこにおける真空技術についてまとめた。理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
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Table of Contents
Ⅰ 基礎編
第1章 半導体製造装置と真空
1 装置システム構成
2 なぜ真空が使われるのか
3 半導体での真空応用例
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 978-4-501-41890-8
- Title
- Title Transcription
- ハンドウタイ シンクウ ギジュツ : ポイント カイセツ
- Author/Editor
- 宇津木勝 著
- Author Heading
- 宇津木, 勝 ウツギ, マサル ( 01097559 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2011.5
- Publication Date (W3CDTF)
- 2011
- Extent
- 219p