博士論文

先端半導体デバイス製造における高スループット自動欠陥検出・分類システムを実現するための画像処理技術に関する研究

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先端半導体デバイス製造における高スループット自動欠陥検出・分類システムを実現するための画像処理技術に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2011-B409
国立国会図書館書誌ID
000011212190
資料種別
博士論文
著者
中垣亮 [著]
出版者
[中垣亮]
出版年
[2011]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (情報科学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
センタン ハンドウタイ デバイス セイゾウ ニ オケル コウスループット ジドウ ケッカン ケンシュツ ブンルイ システム オ ジツゲンスル タメ ノ ガゾウ ショリ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
中垣亮 [著]
著者標目
中垣, 亮 ナカガキ, リョウ
出版事項
出版年月日等
[2011]
出版年(W3CDTF)
2011
数量
1冊
授与機関名
大阪大学