先端半導体デバイス製造における高スループット自動欠陥検出・分類システムを実現するための画像処理技術に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 先端半導体デバイス製造における高スループット自動欠陥検出・分類システムを実現するための画像処理技術に関する研究
• Title Transcription: センタン ハンドウタイ デバイス セイゾウ ニ オケル コウスループット ジドウ ケッカン ケンシュツ ブンルイ システム オ ジツゲンスル タメ ノ ガゾウ ショリ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 中垣亮 [著]
• Author Heading: 中垣, 亮 ナカガキ, リョウ
• Publication, Distribution, etc.: [中垣亮]
• Publication Date: [2011]
• Publication Date (W3CDTF): 2011
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成23年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2011
• Dissertation Number: 甲第14992号
• Degree Type: 博士 (情報科学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2011-B409
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000011212190; http://id.ndl.go.jp/bib/000011212190
• Bibliographic Record Category (NDL): 213