27th European mask and lithography conference : 18-19 January 2011 : Dresden, Germany : EMLC 2011 : EMLC2011 : Jan 2011, Dresden, Germany. (SPIE Proceedings ; 7985)

27th European mask and lithography conference : 18-19 January 2011 : Dresden, Germany : EMLC 2011 : EMLC2011 : Jan 2011, Dresden, Germany.

(SPIE Proceedings ; 7985)

国立国会図書館請求記号: M17-12-179
国立国会図書館書誌ID: 000011232374

資料種別: 図書

著者: European Mask and Lithography Conference (27th : 2011 : Dresden, Germany)ほか

出版者: SPIE

出版年: c2011.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 1 v. (various pagings) ; 28 cm.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Papers."The conference has annually brought together (...)" -- foreword.

形態の詳細：: ill.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 9780819485533
ISSN（シリーズ）: 0277786X
タイトル: 27th European mask and lithography conference : 18-19 January 2011 : Dresden, Germany : EMLC 2011 : EMLC2011 : Jan 2011, Dresden, Germany.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 7985
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 7985. 0277-786X
著者標目: European Mask and Lithography Conference (27th : 2011 : Dresden, Germany)
Behringer, Uwe F. W.
VDE/VDI. Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM)
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2011.
出版年（W3CDTF）: 2011
数量: 1 v. (various pagings)
形態の詳細: ill.
大きさ: 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Integrated circuits--Masks--Congresses.
Microlithography--Congresses.
LCC: QC371
NDLC: M17
対象利用者: 一般
一般注記: Papers.
"The conference has annually brought together (...)" -- foreword.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-12-179
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000011232374
http://id.ndl.go.jp/bib/000011232374
OCLC番号: 747426919
https://www.worldcat.org/oclc/747426919
目録規則: 英米目録規則
整理区分コード: 215