Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781420055115 (v. 1); 9781420055191 (v. 2); 9781420055160 (v. 3)
• タイトル: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou.
• 版: 3rd ed.
• 著者標目: Madou, Marc J.
• 出版事項: Boca Raton, FL : CRC Press
• 出版年月日等: c2012.
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: 3 v. : ill. (some col.) ; 29 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: BioMEMS.; Nanoelectromechanical systems.; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Nanotechnology & MEMS.; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Material Science.; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Microelectronics.
• LCC: TP248.25.B54
• DDC: 681/.2
• NDLC: RA71
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: RA71-B379
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000011265575; http://id.ndl.go.jp/bib/000011265575
• LC control number: 2011014404; https://lccn.loc.gov/2011014404
• OCLC番号: 726620626; https://www.worldcat.org/oclc/726620626
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 211

• 内容細目: V. 1. Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnologyv. 2. Manufacturing techniques for microfabrication and nan...