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Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou. 3rd ed.

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Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou.

3rd ed.

国立国会図書館請求記号
RA71-B379
国立国会図書館書誌ID
000011265575
資料種別
図書
著者
Madou, Marc J.
出版者
CRC Press
出版年
c2012.
資料形態
ページ数・大きさ等
3 v. : ill. (some col.) ; 29 cm.
NDC
-
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資料詳細

内容細目:

V. 1. Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnologyv. 2. Manufacturing techniques for microfabrication and nan...

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
9781420055115 (v. 1)
9781420055191 (v. 2)
9781420055160 (v. 3)
3rd ed.
著者標目
出版年月日等
c2012.
出版年(W3CDTF)
2012
数量
3 v. : ill. (some col.) ; 29 cm.
出版地(国名コード)
US