Design for manufacturability through design-process integration 5 : 2-3 March 2011 : San Jose, California, United States : Mar 2011, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 7974)

Design for manufacturability through design-process integration 5 : 2-3 March 2011 : San Jose, California, United States : Mar 2011, San Jose, CA.

(SPIE Proceedings ; 7974)

国立国会図書館請求記号: M17-12-568
国立国会図書館書誌ID: 000011266129

資料種別: 図書

著者: Rieger, Michael L.ほか

出版者: SPIE

出版年: c2011.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 1 v. (various pagings) ; 28 cm.

NDC: -

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一般注記：: Papers.

形態の詳細：: ill.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 9780819485335
ISSN（シリーズ）: 0277786X
タイトル: Design for manufacturability through design-process integration 5 : 2-3 March 2011 : San Jose, California, United States : Mar 2011, San Jose, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 7974
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 7974. 0277-786X
著者標目: Rieger, Michael L.
Mason, Mark E., 1968-
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2011.
出版年（W3CDTF）: 2011
数量: 1 v. (various pagings)
形態の詳細: ill.
大きさ: 28 cm.
その他のタイトル: SPIE advanced lithography.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Integrated circuits--Design and construction--Congresses.
Integrated circuits--Defects--Analysis--Congresses.
Semiconductors--Design and construction--Congresses.
Semiconductor wafers--Defects--Analysis--Congresses.
Microelectronics industry--Quality control--Congresses.
Quality control--Congresses.
LCC: QC371
NDLC: M17
対象利用者: 一般
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-12-568
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000011266129
http://id.ndl.go.jp/bib/000011266129
OCLC番号: 748371840
https://www.worldcat.org/oclc/748371840
目録規則: 英米目録規則
整理区分コード: 215