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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 丁毅 [著]
- 著者標目
- 丁, 毅 ディン, イ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2010]
- 出版年(W3CDTF)
- 2010
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価 タイキアツ マイクロプラズマ ジェット ニ ヨリ サクセイシタ SiOC ハクマク ト ソノ ビサイ コウゾウ コウガク デンキテキ ブッセイ ヒョウカ
- 授与機関名
- 埼玉大学