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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Masayuki Terai [著]
- 著者標目
- 寺井, 真之 テライ, マサユキ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2010]
- 出版年(W3CDTF)
- 2010
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 低消費電力かつ高信頼なCMOSFET用相制御ニッケルフルシリサイド/ハフニウム酸窒化膜ゲート積層構造の集積化技術の研究 テイ ショウヒ デンリョク カツ コウシンライナ CMOSFETヨウ ソウ セイギョ ニッケル フル シリサイド
- 授与機関名
- 広島大学