Sputtering materials for VLSI and thin film devices

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780815515937; 0815515936
• タイトル: Sputtering materials for VLSI and thin film devices
• 著者・編者: Jaydeep Sarkar.
• 版: First edition.
• 著者標目: Sarkar, Jaydeep, (Materials scientist)
• 出版事項: Waltham, USA : William Andrew (出版)
• 出版年月日等: 2014.
• 出版年（W3CDTF）: 2014
• 数量: x, 603 pages
• 形態の詳細: illustrations
• 大きさ: 25 cm
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Microelectronics--Materials.; Cathode sputtering (Plating process)--Materials.; Integrated circuits--Very large scale integration--Materials.; Thin film devices--Materials.; Flat panel displays--Materials.; Sputtering (Physics)
• LCC: TS695
• DDC: 621.381
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-B88
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023210982; http://id.ndl.go.jp/bib/023210982
• LC control number: 2014469441; https://lccn.loc.gov/2014469441
• OCLC番号: 660539201; https://www.worldcat.org/oclc/660539201
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211