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図書

Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing, optics, and semiconductors 5 : 24-25 August 2011 : San Diego, California, United States : Aug 2011, San Diego, CA. (SPIE Proceedings ; 8105)

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Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing, optics, and semiconductors 5 : 24-25 August 2011 : San Diego, California, United States : Aug 2011, San Diego, CA.

(SPIE Proceedings ; 8105)

国立国会図書館請求記号
M17-12-1706
国立国会図書館書誌ID
023221291
資料種別
図書
著者
Postek, Michael T.ほか
出版者
SPIE
出版年
c2011.
資料形態
ページ数・大きさ等
1 v. (various pagings) ; 28 cm.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Papers.

形態の詳細:

ill.

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
9780819487155 (pbk.)
ISSN(シリーズ)
0277786X
シリーズタイトル
出版事項
出版年月日等
c2011.
出版年(W3CDTF)
2011