博士論文

半導体デバイスにおける超低誘電率層間絶縁膜形成技術に関する研究

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半導体デバイスにおける超低誘電率層間絶縁膜形成技術に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2011-L67
国立国会図書館書誌ID
023337649
資料種別
博士論文
著者
安原重雄 [著]
出版者
[安原重雄]
出版年
[2010]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ハンドウタイ デバイス ニ オケル チョウ テイユウデンリツ ソウカン ゼツエンマク ケイセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
安原重雄 [著]
著者標目
安原, 重雄 ヤスハラ, シゲオ
出版事項
出版年月日等
[2010]
出版年(W3CDTF)
2010
数量
1冊
授与機関名
東北大学